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[工學] 재료 analysis SEM EDX EDS / 재료 analysis SEM EDX EDS SE

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작성일 23-05-05 17:32

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이와 같이 전자 및 전자기파(electromagnetic wave)를 신호로 하여 브라운관(Cathode Ray Tube, CRT 음극선관) 위에 밝기의 變化(변화)로서 상을 나타내도록 만든 장치를 주사전자현미경(SEM)이라 한다. 거의 빛의 속도로 이동하는 전자의 wave성을 이용한 전자가속기로서 전자빔을 전자기렌즈를 이용하여 초점을 형성한다.





시료 위에서 전자선의 진폭(Amplitude)과 CRT의 한 변의 비가 배율이 되기 때문에 전자선의 진폭을 적게 하면 배율이 올라가고, 크게 하면 배율이 내려간다. 주사전자현미경은 secondary electron, back-scattered electron, X-rays, visible light, infrared energy 또는 currents from semiconductors 등의 서로 다른 전자선에 의해 유도된 signal로부터 얻은 다양한 전보를 가질 수 있기 때문에 모든 물체의 표면observation과 화학물질의 조성과 전기적 성질 및 물질의 상호관계까지도 규명할 수 있다. 따라서, CRT에 나타난 화상은 시료의 각 점으로부터 방출되는 전자 또는 전자기파의 양의 다소를 나타낸 것이다. 또한 주사전자현미경은 광학현미경, 형광현미경과 비교할 수 있는 상을 맺을 수 있는데 초점심도가 매우 크기 때문에 주로 입체적인 상을 얻을 수 있고 시료의 제작도 매우 간편하며, 경우에 따라서는 화학적인 처리 없이 간편한 물리적인 조작으로 생체시료를 있는 그대로 observation할 수 있다. 초점을 맞추려면 대물렌즈의 강도를 바꾸어 원추상(cone shaped)의 전자선의 전...

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다. 주사전자현미경에서는 보통 2차 전자를 주된 정보로서 사용하는데 이 2차 전자의 발생량은 시료표면의 요철에 의한 것이므로, 이 장치로서 시료 표면의 형태를 알 수 있다.

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[工學] 재료 analysis SEM EDX EDS / 재료 analysis SEM EDX EDS SE
SEM-EDX
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재료analysis SEM-EDX EDS SEM-EDX Scanning Electr...

재료분석 SEM-EDX EDS SEM-EDX Scanning Electr...





재료analysis(분석) SEM-EDX EDS

Scanning Electron Microscope로 불리는 이 전자현미경은 E-beam이 sample과의 상호작용에 의해 발생된 S.E를 이용해서 표면을 observation하는 장비이다.
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