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재료공학 - 면저항 측정 實驗(실험)

페이지 정보

작성일 24-03-22 00:40

본문

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여기서, ρ는 비저항인데 그러므로 면 저항은 얇은 박막의 두께에 대한 비저항을…(skip)

① Van der Pauw`s method

② 4-Point probe method

3 test(실험) 결과

4.51mΩ

재료공학 - 면저항 측정 實驗(실험)

다.

실험과제/재료

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설명

재료공학 - 면저항 측정 實驗(실험)
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순서
면저항 측정(測定) test(실험)

1. test(실험) 목적 : 면저항의 관념을 알고, 직접 면저항을 측정(測定) 해봄으로써 면저항을 측정(測定) 하는 이유와 면저항을 줄일 수 있는 방법을 연구한다.
그것의 저항 R = ( ρ / T )( L / W )인데 여기서 ( ρ / T )를 면저항 Rs라고 한다.
옴의 법칙에서 V = IR 이다. 저항을 계산하는데 저항율보다 훨씬 쉽고 유용하게 사용된다된다. R =ρ(길이/단면적)이다.

2. theory(이론)

면저항은 얇은 박막의 저항을 측정(測定) 하는 것인데 박막이라 하는 것은 두께가 0.1μm - 수μm의 두께를 가지는 막을 박막이라 한다. 이것을 다음과 같은 definition 에 의해 다시 정리(整理) 해 보자. 먼저 얇은 박막의 두께를 T라 하고 폭은 W, 박막의 길이를 L이라 할 때 거기에 흐르는 전류를 I라 한다 하고 위의 저항(R)의 식에 대입해 보면 다음과 같게 된다된다.

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